SiC 碳化硅承載盤
產(chǎn)品特性
我公司提供的碳化硅盤皆采用日本廠商獨家技術(shù)生產(chǎn)的基盤，具有優(yōu)異的耐熱性、耐磨性、耐腐蝕性?？蓾M足廣大客戶的高規(guī)格需求。
| 機型 | 尺寸 | 適用機器品牌 |
| PVD | 4″*5/4″*7 | 北方華創(chuàng)、AMAC |
| ICP | 4″*7/4*8/4″9 | 北方華創(chuàng)、ULVAC，Oxford |
| RTP/RTA | 2寸x16 | 技鼎、鉅安 |
| RTP/RTA | 4寸x4 | 技鼎、鉅安 |
上海晶泰光電科技有限公司 制程耗材產(chǎn)品